下载正入射式共面电极光电芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:20923110

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本发明涉及光通信传输技术领域,具体涉及一种正入射式共面电极光电芯片及其制备方法;一种正入射式共面电极光电芯片,芯片上开设主光槽,主光槽向芯片的任一表面方向开口并贯穿芯片的吸收层;芯片的正面上还设有收光区、第一电极和第二电极,第一电极位于收光...
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