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本发明公开了属于微储能器件领域的一种基于管状金属氧化物的三维微柱阵列活性电极及制备方法。在硅基底上依次附着Si/SiO2，三维的微柱阵列电极、纳米金属氧化物活性电极薄膜和三维微柱阵列电极的集流体，组成三维微柱阵列活性电极。以氧化钌、氧化锰等...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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