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通过使基板以横切线传感器的拍摄区域的方式移动，生成基板上的膜的图像数据，基于生成的图像数据测量膜的各部分的厚度。在测量该膜的厚度时，使用校正信息校正图像数据，使得不包含取决于在与线传感器正交的方向上的位置的变化量。基于第一线状数据与第二线状...
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