膜厚测量装置、基板检查装置、膜厚测量方法以及基板检查方法制造方法及图纸

通过使基板以横切线传感器的拍摄区域的方式移动，生成基板上的膜的图像数据，基于生成的图像数据测量膜的各部分的厚度。在测量该膜的厚度时，使用校正信息校正图像数据，使得不包含取决于在与线传感器正交的方向上的位置的变化量。基于第一线状数据与第二线状数据的差分计算校正信息，在基板上的膜上定义沿直径方向延伸的线状区域，将该线状区域配置为平行于线传感器地延伸，拍摄得到该第一线状数据，将该线状区域配置为沿与线传感器正交的方向延伸，拍摄得到该第二线状数据。

Membrane Thickness Measurement Device, Substrate Inspection Device, Membrane Thickness Measurement Method and Substrate Inspection Method

The image data of the film on the substrate are generated by moving the substrate in the way of the shooting area of the transverse tangent sensor, and the thickness of each part of the film is measured based on the generated image data. In measuring the thickness of the film, image data are corrected using correction information so that the amount of variation depending on the position orthogonal to the on-line sensor is not included. Based on the differential calculation correction information of the first and second linear data, a linear area extending along the diameter direction is defined on the membrane of the substrate. The linear area is arranged to extend parallel to the line sensor. The first linear data is captured, and the linear area is arranged to extend in the direction orthogonal to the line sensor. The second linear data is captured.

【技术实现步骤摘要】
膜厚测量装置、基板检查装置、膜厚测量方法以及基板检查方法
本专利技术涉及测量形成于基板上的膜的厚度的膜厚测量装置、膜厚测量方法以及进行基板检查的基板检查装置、基板检查方法。
技术介绍
基板处理装置中，通过旋转卡盘旋转被水平支撑的基板。在该状态下，通过向基板的上面的中央部喷出抗蚀液等涂覆液，在基板的整个表面形成涂覆膜。涂覆膜曝光后，进行显影，从而在涂覆膜上形成规定的图案。其中，如果基板的表面为不均匀状态，对于基板的每个部分，曝光后的状态会产生偏差，发生基板的处理不良。因此，有时对基板进行表面状态检查。日本特开2015-127653号公报中记载了宏观检查半导体晶圆等样本的检查装置。该检查装置中，朝向载置于工作台上的样本照射在与样本的表面平行的Y方向上线状地延伸的照明光，通过成像透镜使从样本的表面的线状区域反射的光在检测器(线传感器(linesensor)照相机)的受光面成像。向与Y方向正交且与样本表面平行的X方向移动工作台，通过检测器拍摄在样本的表面上的多个线状区域反射的光。由此，生成样本的表面整体的图像。基于生成的图像的亮度值，检测形成于样本表面的膜的厚度，或者判定形成于样本表面的图案本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜厚测量装置，测量形成于基板上的膜的厚度，其中，具备：保持部，能够将所述基板保持为彼此相差90度的第一朝向以及第二朝向；拍摄部，包含具有沿第一方向排列的多个像素的线传感器；移动部，使所述拍摄部与所述保持部在与所述第一方向正交的第二方向上相对移动；校正信息生成部，在进行校正信息生成动作时，生成用于校正膜的厚度的校正信息；膜厚测量部，在进行膜厚测量动作时，测量所述膜的厚度；以及膜厚校正部，使用所述校正信息校正由所述膜厚测量部测量的厚度，在由所述保持部将所述基板以所述第一朝向保持的状态下，在所述基板上的所述膜上定义与所述第一方向正交的沿直径方向延伸的第一线状区域，在由所述保持部将所述基板以所...

【技术特征摘要】
2017.10.11 JP 2017-1977821.一种膜厚测量装置，测量形成于基板上的膜的厚度，其中，具备：保持部，能够将所述基板保持为彼此相差90度的第一朝向以及第二朝向；拍摄部，包含具有沿第一方向排列的多个像素的线传感器；移动部，使所述拍摄部与所述保持部在与所述第一方向正交的第二方向上相对移动；校正信息生成部，在进行校正信息生成动作时，生成用于校正膜的厚度的校正信息；膜厚测量部，在进行膜厚测量动作时，测量所述膜的厚度；以及膜厚校正部，使用所述校正信息校正由所述膜厚测量部测量的厚度，在由所述保持部将所述基板以所述第一朝向保持的状态下，在所述基板上的所述膜上定义与所述第一方向正交的沿直径方向延伸的第一线状区域，在由所述保持部将所述基板以所述第二朝向保持的状态下，所述第一线状区域与所述第二方向正交，所述校正信息生成部包含：第一线状数据生成部，在由所述保持部将所述基板以所述第一朝向保持的状态下，基于在由所述移动部使所述拍摄部与所述保持部进行相对移动时从所述线传感器输出的检测信号，生成与所述膜的所述第一线状区域的厚度对应的第一线状数据；第二线状数据生成部，在由所述保持部将所述基板以所述第二朝向保持的状态下，基于从所述线传感器输出的检测信号，生成与所述膜的所述第一线状区域的厚度对应的第二线状数据；以及校正信息计算部，计算表示所述第一线状数据与所述第二线状数据的差分的信息作为所述校正信息，所述第一线状数据、所述第二线状数据以及所述校正信息分别包含与所述第一线状区域的多个位置对应的多个值，在由所述保持部保持所述基板的状态下，在所述基板上的所述膜上定义与所述第一方向正交的沿直径方向延伸的第二线状区域，并且，定义与所述第二线状区域正交的多个带状区域，所述膜厚测量部包含面状数据生成部，所述面状数据生成部在由所述保持部保持所述基板的状态下，基于在由所述移动部使所述拍摄部与所述保持部进行相对移动时从所述线传感器输出的检测信号，生成与所述基板上的所述膜的厚度对应的面状数据，所述膜厚校正部包含：带状数据生成部，根据由所述面状数据生成部生成的面状数据，生成与所述膜的多个所述带状区域的厚度对应的多个带状数据；以及带状数据校正部，基于所述校正信息校正各带状数据，从而计算膜厚数据，该膜厚数据包含与所述膜的各位置的厚度对应的值。2.根据权利要求1所述的膜厚测量装置，其中，所述第一线状数据以及所述第二线状数据均是通过将表示所述膜的所述第一线状区域的图像的图像数据中的、各像素的值转换成膜的厚度而得到的数据，均包含表示与所述第一线状区域的各位置对应的厚度的值，所述面状数据是通过将表示所述膜的图像的图像数据中的、各像素的值转换成膜的厚度而得到的数据，包含表示与所述膜的各位置对应的厚度的值，多个所述带状数据是表示所述膜的多个所述带状区域的厚度的数据，所述膜厚数据包含表示与所述膜的各位置对应的厚度的值作为与所述膜的各位置的厚度对应的值。3.根据权利要求1所述的膜厚测量装置，其中，所述第一线状数据以及所述第二线状数据均是表示所述膜的所述第一线状区域的图像的数据，所述面状数据是表示所述膜的各位置的图像的数据，多个所述带状数据是表示所述膜的多个所述带状区域的图像的数据，所述膜厚数据包含表示所述膜的各位置的图像的值作为与所述膜的各位置的厚度对应的值。4.根据权利要求1至3中任一项所述的膜厚测量装置，其中，所述校正信息的多个值与在将所述基板以所述第二朝向保持时的所述第一线状区域的在所述第一方向上的所述多个位置建立对应，所述带状数据校正部针对各带状区域的多个部分中的每一部分，将与该部分的厚度对应的带状数据的值加上与该部分的在所述第一方向上的位置对应的差分信息的值，从而校正各带状数据。5.根据权利要求1至4中任一项所述的膜厚测量装置，其中，所述校正信息计算部计算与所述第一线状区域的多个位置中的每个位置对应的所述第一线状数据的值与所述第二线状数据的值的差分，针对对应于所述第一线状区域的所述多个位置而计算出的多个差分的值进行多元回归分析，从而计算出所述校正信息。6.一种基板检查装置，对具有一面的基板进行外观检查，其中，具备：保持部，能够将所述基板保持为彼此相差90度的第一朝向以及第二朝向；拍摄部，包含具有沿第一方向排列的多个像素的线传感器；移动部，使所述拍摄部与所述保持部在与所述第一方向正交的第二方向上相对移动；校正信息生成部，在进行校正信息生成动作时，生成用于校正所述基板的所述一面的图像的校正信息；图像获取部，在进行图像获取动作时，获取所述基板的所述一面的图像；图像校正部，使用所述校正信息校正由所述图像获取部获取的图像；以及判定部，在由所述保持部将所述基板以所述第一朝向保持的状态下，在所述基板的所述一面定义与所述第一方向正交的沿直径方向延伸的第一线状区域，在由所述保持部将所述基板以所述第二朝向保持的状态下，所述第一线状区域与所述第二方向正交，所述校正信息生成部包含：第一线状数据生成部，在由所述保持部将所述基板以所述第一朝向保持的状态下，基于在由所述移动部使所述拍摄部与所述保持部进行相对移动时从所述线传感器输出的检测信号，生成表示所述第一线状区域的图像的第一线状数据；第二线状数据生成部，在由所述保持部将所述基板以所述第二朝向保持的状态下，基于从所述线传感器输出的检测信号，生成表示所述第一线状区域的图像的第二线状数据；以及校正信息计算部，计算表示所述第一线状数据与所述第二线状数据的差分的信息作为所述校正信息，所述第一线状数据、所述第二线状数据以及所述校正信息分别包含与所述第一线状区域的多个位置对应的多个值，在由所述保持部保持所述基板的状态下，在所述基板的所述一面定义与所述第一方向正交的沿直径方向延伸的第二线状区域，并且，定义与所述第二线状区域正交的多个带状区域，所述图像获取部包含面状数据生成部，所述面状数据生成部在由所述保持部保持所述基板的状态下，基于在由所述移动部使所述拍摄部与所述保持部进行相对移动时从所述线传感器输出的检测信号，生成表示所述基板的所述一面的图像的面状数据，所述图像校正部包含：带状数据生成部，根据由所述面状数据生成部生成的面状数据，生成表示所述一面的多个所述带状区域的图像的多个带状数据；以及带状数据校正部，基于所述校正信息校正各带状数据，从而计算判定图像数据，所述判定图像数据包含表示所述一面的各位置的图像的值，所述判定部基于所述判定图像数据判定所述基板的表面状态有无缺陷。7.根据权利要求6所述的基板检查装置，其中，所述校正信息的多个值与在将所述基板以所述第二朝向保持时的所述第一线状区域的在所述第一方向上的多个位置建立对应，所述带状数据校正部针对各带状区域的多个部分中的每一部分，将表示该部分的图像的带状数据的值加上与该部分的在所述第一方向上的位置对应的差分信息的值，从而校正各带状数据。8.根据权利要求6或7所述的基板检查装置，其中，所述校正信息计算部计算与所述第一线状区域的多个位置中的每个位置对应的所述第一线状数据的值与所述第二线状数据的值的差分，针对对应于所述第一线...

【专利技术属性】
技术研发人员：松尾友宏，清水英树，田中淳，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP