温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种能防止其他加工区域中使用了的液体侵入各加工区域并将各加工区域的液体分开排出的加工装置。其具有：多个卡盘，其用于保持基板；多个加工轴，其安装有磨削构件；加工台，其保持多个所述卡盘，使该卡盘在搬入所述基板的搬入位置与配置有所述...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。