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一种抛光系统包括：工作台，所述工作台具有顶表面；环形抛光垫，所述环形抛光垫被支撑于所述工作台上；承载头，所述承载头用于保持基板与环形抛光垫的接触；支撑结构，其中承载头悬挂于所述支撑结构，所述支撑结构经配置以移动并保持所述承载头横跨所述抛光垫...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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