下载一种三维存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:20848133

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本发明公开了一种三维存储器及其制备方法。其中,所述制备方法包括以下步骤:在沟道通孔的底部形成下选择管沟道层;在所述下选择管沟道层上形成导电层;所述导电层与所述下选择管沟道层导电连接;在所述沟道通孔内形成存储区沟道层,所述存储区沟道层与所述导...
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