下载半导体结构的技术资料

文档序号:20845556

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本实用新型提供了一种半导体结构,包括:半导体衬底;第一沟槽,形成于半导体衬底内;衬垫层,形成于第一沟槽的侧壁;隔离层,位于第一沟槽内,且至少覆盖衬垫层的侧面及顶部;第一介质层,位于第一沟槽内,第一介质层的厚度小于第一沟槽的深度;第二沟槽,位...
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