下载用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构的技术资料

文档序号:20795633

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本发明涉及质量与可靠性领域、检测技术研究领域,特别涉及一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构,包括管壳和盖板,管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体,间隔板与外壁等高,且第一腔体与第二腔体共用一块盖板,所述管壳采用平行缝焊...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十四研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十四研究所授权不得商用。

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