用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构制造技术

本发明专利技术涉及质量与可靠性领域、检测技术研究领域，特别涉及一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，包括管壳和盖板，管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体，间隔板与外壁等高，且第一腔体与第二腔体共用一块盖板，所述管壳采用平行缝焊管壳，其形状为长方体，所述第一腔体的体积为0.001立方厘米～0.01立方厘米，第二腔体的体积为0.1立方厘米～4.0立方厘米；本发明专利技术方法的双腔结构可以对小于0.01立方厘米的微小腔体内部气氛检测结果进行准确比对，可以极大地提高微小腔体电路内部气氛检测结果的准确性和稳定性。

Double-cavity structure for comparing the results of internal atmosphere detection in micro-cavity circuits

The invention relates to the field of quality and reliability and the field of detection technology, in particular to a dual-chamber structure for comparing the results of atmospheric detection in a microcavity circuit, including a shell and a cover plate. The shell is separated by a spacer to form a first cavity and a second cavity, the spacer plate is equal to the outer wall, and the first cavity and the second cavity share a cover plate. Parallel seam welded tube shell is cuboid in shape, the volume of the first chamber is 0.001 cubic centimeter to 0.01 cubic centimeter, and the volume of the second chamber is 0.1 cubic centimeter to 4.0 cubic centimeter. The double-chamber structure of the invention can accurately compare the detection results of the internal atmosphere in a micro-chamber less than 0.01 cubic centimeter, and can greatly improve the internal atmosphere detection of the micro-chamber circuit. Accuracy and stability of measurement results.

【技术实现步骤摘要】
用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构
本专利技术涉及质量与可靠性领域、检测技术研究领域，特别涉及一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构。
技术介绍
随着航空、航天、航海电子技术的发展，对所有使用的电子元器件提出了更高的要求，除了具备高质量与高可靠性外，还要求具有长使用寿命。在很大程度上，微电子器件的使用寿命与微电路内部气氛含量有关。细微的漏气将使空气进入器件内部，引起严重的键合引线腐蚀和电气失效。因此，对于微电路内部气氛的检测尤其重要，即通过对产品内部气氛历史数据信息的分析，可进一步了解密封前烘焙温度与时间、聚合物和固态合金材料特性、固化时间、热效应和机械应力、密封环境、管壳材料内部污染等问题对内部气氛的影响。目前国内的内部气氛检测结果比对主要采用实验室之间比对，均是检测结果检测值之间的比对，无法直接对微小腔体检测结果与真实值进行准确性比对验证。
技术实现思路
本专利技术提出一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，包括管壳和盖板，管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体，间隔板与外壁等高，且第一腔体与第二腔体共用一块盖板。进一步的，所述管壳采用平行缝本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，其特征在于，包括管壳和盖板，管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体，间隔板与外壁等高，且第一腔体与第二腔体共用一块盖板。

【技术特征摘要】
1.用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，其特征在于，包括管壳和盖板，管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体，间隔板与外壁等高，且第一腔体与第二腔体共用一块盖板。2.根据权利要求1所述的用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，其特征在于，所述管壳采用平行缝焊管壳，其形状为长方体。3.根据权利要求1所述的用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，其特征在于，所述第一腔体的体积为0.001立方厘米～0.01立方厘米，第二腔体的体积为0.1立方厘米～4.0立方厘米。4.根据权利要求1所述的用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，其特征在于，盖板厚度为0.08mm～0.12mm。5.用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构的制备方法，其特征在于，包括将管壳(1)和盖板(2)放入烘箱进行除气烘烤，随后对其进行封帽，封帽时将盖板(2)与管壳的间隔板(3)焊死，形成两个密封腔体...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭骁洪，李晓红，罗俊，邢宗锋，张锋，邓永芳，邱忠文，吴兆希，林震，朱朝轩，杨迁，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十四研究所，
类型：发明
国别省市：重庆,50