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本实用新型提供一种浅沟槽隔离结构，所述浅沟槽隔离结构包括衬底；氧化垫层，所述氧化垫层位于所述衬底上；沟槽，形成于所述氧化垫层及所述衬底中；以及隔离介质，包括填充于所述沟槽中的隔离填充部以及凸出于所述隔离填充部上的隔离凸起部，所述隔离凸起部的...
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