下载一种真空管路防护系统的技术资料

文档序号:20791659

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本实用新型提供一种真空管路防护系统,该防护系统包括,反应腔体,以及与反应腔体配套的主泵,前级泵和真空管路;反应腔体与主泵密封连接,反应腔体中容置有第一气体;主泵通过真空管路与前级泵相连接;其中,在真空管路的管壁上设置有一第一注入点,第二气体...
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