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一种湿式制程承载盘循环加盖装置，包括载台，所述载台包括立柱滑轨和连杆，立柱滑轨竖直矩形排列，且立柱滑轨为角钢形状，连杆连接相邻的两立柱滑轨，所述立柱滑轨中部一侧壁设有水平槽孔，槽孔内水平安装有压缩弹簧和伸缩块，压缩弹簧一端固定在槽孔内侧端部...
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