下载3D存储器件及其制造方法的技术资料

文档序号:20728385

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本发明公开了一种3D存储器件及其制造方法。所述3D存储器件包括:衬底;堆叠于所述衬底上方的第一叠层结构和堆叠与所述第一叠层结构上方的第二叠层结构,以及贯穿所述第一叠层结构和所述第二叠层结构的多个沟道柱,其中,所述沟道柱的沟道叠层位于所述第一...
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