下载一种ST平面栅VDMOS结构的技术资料

文档序号:20723903

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本实用新型公开了一种ST平面栅VDMOS结构,属于半导体器件领域。该结构包括衬底、外延层、栅氧化层和多晶硅栅、金属层、绝缘介质层、接触孔;外延层在衬底之上;外延层上设置有P型半导体区,P型半导体区上设置有N型半导体区;N型半导体区上有接触孔...
该专利属于江苏丽隽功率半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏丽隽功率半导体有限公司授权不得商用。

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