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本发明提供一种检查装置及检查方法，其中检查装置对检查面上的线状区域一边照明一边进行拍摄，并使线状区域移动，由此获取检查面的图像。照明部具有光源部、照明光学系统、及辅助光学元件。辅助光学元件使来自光源部的光的一部分一边相对于虚拟面倾斜，一边向...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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