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本发明提供了一种光学检测系统及其检测方法，光发射单元发射光线，使光线照射到待测样品上，被待测样品反射形成反射光；光收集单元用于收集反射光，并将反射光分成第一光和第二光；成像单元用于根据第一光获得待测样品的图像以及待测样品的任一待测区域的图像...该专利属于中国科学院微电子研究所;深圳中科飞测科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;深圳中科飞测科技有限公司授权不得商用。