下载一种磁控溅射门防下垂辅助装置及方法的技术资料

文档序号:20713400

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本发明公开了一种磁控溅射门防下垂辅助装置,涉及防下垂技术领域,包括连接体、辅助装置。连接体左端具有调整体,连接体右端固定在磁控溅射门上。辅助装置固定在磁控溅射设备上,连接体与辅助装置位于相对方向,调整体位于辅助装置内,辅助装置与调整体具有一...
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