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晶体管及集成电路存储器制造技术
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文档序号:20687627
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本实用新型涉及集成电路领域,提供了一种晶体管和一种集成电路存储器。所提供的晶体管包括形成有栅极沟槽和源/漏区的衬底,栅极沟槽中填充有栅极介质层、第一栅极层和第二栅极层,其中沿栅极沟槽的底壁向衬底的表面延伸的方向,第一栅极层的功函数逐渐降低,...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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