下载高压器件与半导体器件的技术资料

文档序号:20687625

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本申请公开了一种高压器件与半导体器件,该高压器件半导体衬底;氧化层;栅极,位于氧化层上;以及源区与漏区,位于半导体衬底中,并分别位于栅极两侧,其中,漏区的掺杂深度由漏区的中心向边缘递减。通过掺杂深度由中心向边缘递减的漏区,减小了漏区边缘的电...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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