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晶体管结构制造技术
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文档序号:20687622
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本实用新型提供了一种晶体管结构,包括:衬底,衬底上形成有核心结构,核心结构包括栅极结构及叠置于栅极结构上的盖帽结构,核心结构两侧的衬底上还形成有侧墙结构,侧墙结构贴置于核心结构的侧壁上;轻掺杂结构层,包括在侧墙结构的阻隔下自然分离在衬底不同...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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