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位线结构及存储器制造技术
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文档序号:20687598
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本实用新型提供了一种位线结构及存储器,所述位线结构包括基底,位于基底上的多条位线,多条位线间隔排列,以及隔离材料层、多孔绝缘材料层与空气隙,隔离材料层位于基底和位线上,隔离材料层覆盖位线的顶部和侧壁,多孔绝缘材料层位于隔离材料层上,多孔绝缘...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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