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本实用新型提供了一种金属互连结构。金属互连结构中的金属扩散阻挡层是通过第一金属的自发扩散而形成的，有利于降低金属扩散阻挡层的制备难度，并且还能够有效避免籽晶层中出现活化能较高的界面金属，进而可缓解高活化能的界面金属穿过金属扩散阻挡层的现象。...
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