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集成电路存储器制造技术
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文档序号:20687557
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本实用新型提供了一种集成电路存储器,通过在对应同一有源区的两条字线之间的沟槽隔离结构中形成绝缘结构,且所述绝缘结构的材料的介电常数小于所述沟槽隔离结构的材料的介电常数,从而减小了对应同一有源区的两条所述字线之间的寄生电容,提高了集成电路存储...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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