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互连结构及半导体器件制造技术
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下载互连结构及半导体器件的技术资料
文档序号:20687554
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本实用新型提供一种互连结构及半导体器件,所述互连结构包括:基底、第一层间介质层、金属互连线、低介电常数介质层以及绝缘层,第一层间介质层位于基底上,且第一层间介质层内形成有多个贯穿第一层间介质层的凹槽,金属互连线填充于第一层间介质层的凹槽内,...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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