下载MOS晶体管的制造方法、集成电路的制造方法、MOS晶体管及集成电路的技术资料

文档序号:20684799

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本申请公开了一种MOS晶体管的制造方法、集成电路的制造方法、MOS晶体管及集成电路。该MOS晶体管的制造方法包括:在半导体衬底中形成轻掺杂区;在所述半导体衬底表面形成栅介质层;在所述栅介质层表面形成栅极;以及在所述轻掺杂区内形成所述MOS晶...
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