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一种异物去除装置(100)，包括：长方体状的清洁头(20)，包含向沿X方向搬送的基板(13)的表面以带状喷射空气的狭缝(23)、及邻接于狭缝(23)而配置的长方形状的抽吸口(24)；以及驱动部(30)，使清洁头(20)沿着基板(13)的表面...
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