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法布里-珀罗干涉滤光器制造技术
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下载法布里-珀罗干涉滤光器的技术资料
文档序号:20596111
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本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器(1)包括:基板(11),其具有第一表面(11a);第一积层体(22),其具有配置于第一表面(11a)的第一反射镜部(31);第二积层体(24),其具有在相对于第一反射镜部(31)而在与基板(11)相反的一侧隔...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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