法布里-珀罗干涉滤光器制造技术

本发明专利技术的法布里‑珀罗干涉滤光器(1)包括：基板(11)，其具有第一表面(11a)；第一积层体(22)，其具有配置于第一表面(11a)的第一反射镜部(31)；第二积层体(24)，其具有在相对于第一反射镜部(31)而在与基板(11)相反的一侧隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32)；及中间层(23)，其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S)。中间层(23)的外侧面(23b)以如下方式弯曲：中间层(23)的基板(11)侧的缘部比中间层(23)的与基板(11)相反的一侧的缘部在与第一表面(11a)平行的方向上位于更靠向外侧的位置。第二积层体(24)覆盖中间层(23)的外侧面(23b)。

Fabry-Perot interferometric filter

The Fabry-Perot interferometric filter (1) of the present invention includes: a substrate (11), which has a first surface (11a); a first accumulator (22), which has a first reflector (31) disposed on the first surface (11a); and a second accumulator (24), which has a second reflection opposite to the first reflector (31) and a gap (S) opposite to the base plate (11) and opposite to the first reflector (31). The mirror part (32) and the intermediate layer (23) delimit the void (S) between the first and the second layers (22). The outer side (23b) of the middle layer (23) is bent in the following way: the edge of the base (11) side of the middle layer (23) is located more outward in the direction parallel to the first surface (11a) than the edge of the opposite side of the base (11) of the middle layer (23). The second stratigraphic body (24) covers the outer side (23b) of the intermediate layer (23).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】法布里-珀罗干涉滤光器
本专利技术的一个方式涉及一种法布里-珀罗干涉滤光器。
技术介绍
专利文献1中记载的法布里-珀罗干涉仪包括：基板；第一反射镜结构，其具有配置于基板上的下侧固定反射镜；第二反射镜结构，其具有隔着空间而与下侧固定反射镜相对的上侧可动反射镜；及牺牲层，其在第一反射镜结构与第二反射镜结构之间划定空间。在该法布里-珀罗干涉仪中，牺牲层的外侧面是露出的。另外，牺牲层的外侧面呈平面状，且与牺牲层中的与第一反射镜结构相反的一侧的表面正交，并且与第二反射镜结构的外侧面成为同一平面。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本专利文献特表2012-528345号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的技术问题]在如上所述的法布里-珀罗干涉仪中，由于牺牲层的外侧面是露出的，所以，光从牺牲层的外侧面入射。对于这种光而言，即便具有与对应于下侧固定反射镜与上侧可动反射镜之间的距离的波长不同的波长，也会有透过下侧固定反射镜而包含于来自法布里-珀罗干涉仪的输出光中的问题。在此情况下，输出光中的噪声增大，法布里-珀罗干涉仪的特性会劣化。另外，在如上所述的法布里-珀罗干涉仪中，在第二反射镜结构被牺牲层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种法布里‑珀罗干涉滤光器，其中，包括：基板，其具有第一表面；第一层，其具有配置于所述第一表面的第一反射镜部；第二层，其具有在相对于所述第一反射镜部而在与所述基板相反的一侧隔着空隙而与所述第一反射镜部相对的第二反射镜部；及中间层，其在所述第一层与所述第二层之间划定所述空隙，并且，所述中间层的外侧面以如下方式弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述基板相反的一侧的缘部在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置，所述第二层覆盖所述中间层的所述外侧面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.24 JP 2016-1639161.一种法布里-珀罗干涉滤光器，其中，包括：基板，其具有第一表面；第一层，其具有配置于所述第一表面的第一反射镜部；第二层，其具有在相对于所述第一反射镜部而在与所述基板相反的一侧隔着空隙而与所述第一反射镜部相对的第二反射镜部；及中间层，其在所述第一层与所述第二层之间划定所述空隙，并且，所述中间层的外侧面以如下方式弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述基板相反的一侧的缘部在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置，所述第二层覆盖所述中间层的所述外侧面。2.如权利要求1所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，所述中间层的所述外侧面以如下方式向所述空隙侧呈凹状弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述基板相反的一侧的缘部在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置。3.如权利要求1或2所述的法布里-...

【专利技术属性】
技术研发人员：笠原隆，柴山胜己，广瀬真树，川合敏光，大山泰生，藏本有未，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP