下载一种横向双扩散金属氧化物半导体器件及其制作方法的技术资料

文档序号:20591804

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本发明提供一种横向双扩散金属氧化物半导体器件及其制作方法,该横向双扩散金属氧化物半导体器件包括:半导体衬底,在所述半导体衬底上形成有漂移区;在所述漂移区中形成有阱区和漏区,在所述阱区中有源区和沟道;在所述漂移区中形成有位于所述阱区和所述漏区...
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