下载一种3D NAND存储器存储单元结构的技术资料

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一种3D NAND存储器存储单元结构,其包括:衬底;位于所述衬底之上的氧化硅/金属栅交替堆叠结构,所述堆叠结构的最顶层金属栅作为漏极选择管的栅极;至少穿过所述漏极选择管的栅极的沟道孔;位于所述沟道孔内的多晶硅沟道,所述多晶硅沟道与所述漏极选...
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