下载晶片的加工方法的技术资料

文档序号:20591725

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提供晶片的加工方法。该方法包含:第1切削槽形成工序,从晶片的正面侧沿着分割预定线通过第1切削刀具形成深度相当于器件芯片的完工厚度的第1切削槽;密封工序,利用密封材料将晶片的正面密封;磨削工序,从晶片的背面侧将晶片磨削至器件芯片的完工厚度而使...
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