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本发明提供一种空间重叠多电极控制VCSEL列阵,其包括:第一发光芯片以及与第一发光芯片同步或者异步工作的第二发光芯片;第一发光芯片和第二发光芯片位于衬底层的正面,任一发光芯片包括自上而下依次层叠设置的:上DBR层、有源层以及下DBR层,第一...该专利属于苏州长光华芯光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州长光华芯光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种空间重叠多电极控制VCSEL列阵,其包括:第一发光芯片以及与第一发光芯片同步或者异步工作的第二发光芯片;第一发光芯片和第二发光芯片位于衬底层的正面,任一发光芯片包括自上而下依次层叠设置的:上DBR层、有源层以及下DBR层,第一...