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面蒸发源蒸镀装置制造方法及图纸
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下载面蒸发源蒸镀装置的技术资料
文档序号:20561653
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本发明涉及一种面蒸发源蒸镀装置。它是由可卷绕的柔性金属箔带作为蒸发料薄膜层的承载件,所述承载件上用波峰涂方法涂有蒸发料薄膜层,构成载有蒸发料膜层的面蒸发源;在此面蒸发源两端有一对加热电极,通过瞬间加热把承载件上蒸发料薄膜层瞬间全部均匀地蒸发...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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