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本实用新型属于电子元器件技术领域，涉及一种防止晶圆衬底旋转的分子束外延用衬底托板，包括环状的本体，所述本体的中心设有表面低于本体上表面的外环形台以及低于所述外环形台的内环形台，所述内环形台用于托承晶圆衬底，所述外环形台上开有一个宽度与晶圆切...
该专利属于苏州焜原光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州焜原光电有限公司授权不得商用。

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