下载半导体器件的形成方法的技术资料

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一种半导体器件的形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上具有第一器件区域和第二器件区域,所述第一器件区域和第二器件区域分别具有栅极结构;形成覆盖所述半导体衬底表面和栅极结构的遮蔽层;形成掩膜层,所述掩膜层覆盖所述第一器件区域的遮蔽层...
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