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本发明提供了一种集成式湿度传感器及其制造方法。该制造方法包括以下步骤：S1，提供具有控制电路的衬底，并在衬底具有控制电路的一侧形成重新布线层，重新布线层包括相互独立的第一电极和第二电极，第二电极与控制电路的引脚接触；S2，采用溶胶‑凝胶法在...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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