下载半导体装置结构的技术资料

文档序号:20519101

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提供一种集成电路以用于闪存装置,其于选择栅极结构与存储栅极结构之间具有扩大空间。在选择栅极结构形成角落凹陷可得到扩大空间,并缩小选择栅极结构的上表面尺寸。在一例中,半导体基板具有存储器装置形成其上,且存储器装置包含的半导体基板具有存储器装置...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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