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具有周围有基础绝缘结构的有源柱的半导体装置制造方法及图纸
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下载具有周围有基础绝缘结构的有源柱的半导体装置的技术资料
文档序号:20490686
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本发明提供一种半导体装置,包含从衬底突出的有源图案及围绕有源图案的下部部分的绝缘结构。绝缘结构包含与衬底的顶部表面及有源图案的侧壁共形的绝缘层以及在绝缘层上的掩埋绝缘图案。本发明的半导体装置具有增强的可靠性。...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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