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加工装置制造方法及图纸
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文档序号:20437411
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提供加工装置,能够适当地判定加工屑向包围加工室的壁的附着程度。该加工装置包含:卡盘工作台,其对板状的被加工物进行保持;加工单元,其包含主轴,在该主轴的前端部安装有加工工具,该加工工具对卡盘工作台所保持的被加工物进行磨削或研磨;加工室,其由壁...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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