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本实用新型属于化学机械研磨技术领域，涉及改善上电极板在化学机械研磨工艺中刮伤的设备，包括按序依次呈圆周设置的一第一研磨台和至少一第二研磨台；所述第一研磨台上安装有第一研磨垫；所述第二研磨台上安装有第二研磨垫；其中，所述第一研磨垫的硬度小于所...
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