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本发明公开了一种晶圆抛光主轴的密封结构，包含主轴转子，其端部有旋转法兰与主轴转子同步转动，旋转法兰内部设有旋转密封圈，主轴定子与旋转法兰同侧的端面上设置倒置法兰，倒置法兰中含有吸气通道，所述旋转法兰与所述倒置法兰通过旋转密封圈贴合密封，比如...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

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