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本发明公开了一种集成式晶圆抛光主轴，包括壳体、位于壳体内部的转轴、位于转轴两端设置轴承、旋转驱动装置。转轴通过抛光头过渡法兰将转矩传递到抛光头上，旋转驱动装置位于壳体的内部，旋转驱动装置可以传递转矩带动转轴旋转，转轴的内部含输气通道，以输送...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

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