下载一种半导体生产系统的技术资料

文档序号:20307546

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本实用新型属于半导体封装设备领域,其公开了一种半导体生产系统,包括依次连接的第一半导体机台、第一固化设备、第二半导体机台、第二固化设备,所述的第一半导体机台、第一固化设备之间设有第一暂存机,所述的第二半导体机台、第二固化设备之间设有缓存机;...
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