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三维存储器件以及用于形成三维存储器件的方法技术
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文档序号:20290626
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公开了三维(3D)存储器件和形成3D存储器件的方法的实施例。在示例中,3D存储器件包括衬底、设置于衬底上的外围器件、设置于外围器件上方的外围互连层、设置于外围互连层上方并电连接到外围互连层的第一源极板、设置于第一源极板上的第一存储器堆叠层、...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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