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本发明提供一种缺陷抽检方法，应用于缺陷抽检系统中，缺陷抽检系统包括多个机台，方法包括步骤S1，将每个机台根据加工工艺的配置参数的类型进行分类，并得到分类后的每组机台；步骤S2，对每组机台进行监控，并得到每组机台的未监控数量以及未监控时间；步...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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