下载一种柔性的抛光装卸部件模块的技术资料

文档序号:20281616

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本发明公开了一种柔性的抛光装卸部件模块,包含一个装卸模块和两个抛光模块。装卸模块居中,两个抛光模块位于其两侧,装卸模块在与装卸模块和两个抛光模块排列方向相垂直的方向上有两个装卸台模块,两个装卸台模块的两个装卸位置分别对应所述两个抛光模块。装...
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