下载垂直存储器件的技术资料

文档序号:20245003

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一种垂直存储器件包括:衬底,其具有单元阵列区域和与单元阵列区域相邻的连接区域;多个栅电极层,所述多个栅电极层堆叠在衬底的单元阵列区域和连接区域上,并在连接区域中形成台阶结构;第一金属线,其划分所述多个栅电极层并连接到衬底的单元阵列区域和连接...
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