下载3D-NAND闪存及其工作方法的技术资料

文档序号:20245001

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一种3D‑NAND闪存及其工作方法,3D‑NAND闪存包括:半导体衬底;位于所述半导体衬底上的堆叠结构;贯穿所述堆叠结构的沟道结构,所述沟道结构包括沿垂直于半导体衬底表面方向延伸的沟道层、以及位于所述沟道结构顶部的漏掺杂区和附加掺杂区;所述...
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