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包括垂直存储器件的集成电路器件制造技术
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下载包括垂直存储器件的集成电路器件的技术资料
文档序号:20244999
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提供了一种集成电路器件,其包括:在衬底上在垂直方向上彼此重叠的多个字线、在衬底的一区域上在垂直方向上延伸穿过所述多个字线的多个沟道结构、在所述多个沟道结构上的多个位线接触垫、以及多个位线,其中所述多个位线包括在所述区域的中央区中以第一节距布...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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